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表面潔凈度測試儀解決方案

發(fā)布時間： 2025-11-12　　點擊次數(shù)： 86次

表面潔凈度測試儀

一、 儀器介紹

概述：

表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗證部件表面是否干凈的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

執(zhí)行標準：

ISO14644-9:2022 《潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境第 9 部分:顆粒濃度表面清潔度的評估》

二、 儀器參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

控制系統(tǒng)：PLC

操作界面：7寸觸摸屏

流量:28.3L/min+5% 內(nèi)置流量傳感器，流量自動閉環(huán)控制

光源: 進口激光二極管

測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據(jù)客戶需求定制，最多八個通道）